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GASES

반도체 산업의 특수 가스 및
일반 산업용 가스 공급

WF6

Description

CAS No. 7783-82-6

Applications

Semiconductor Gas

Characteristic Specification Value Analysis Unit Measurement Type Measurement  Phase
Purity 99.999 > 99.999 9 v/v% -- --
CF4 0.5 < 0.5 ppmv GC Vapor
O2+Ar 0.5 < 0.1 ppmv GC Vapor
N2 0.5 < 0.2 ppmv GC Vapor
CO 0.5 < 0.2 ppmv FT-IR Vapor
CO2 0.5 < 0.1 ppmv FT-IR Vapor
SiF4 0.5 < 0.5 ppmv FT-IR Vapo
SF6 0.5 < 0.2 ppmv GC Vapo
H2 0.5 0.2 ppmv GC Vapor
HF 1 < 0.5 ppmv FT-IR Vapor
NF3 0.5 < 0.5 ppmv GC Vapor
THC 0.5 < 0.5 ppmv GC Vap
Al 10 < 0.3 ppb ICP-MS Vapor
As 10 < 1 ppb ICP-MS Vapor
Ca 5 < 0.3 ppb ICP-MS Vapor
Cd 2 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Cr 10 0.3 ppb ICP-MS Vapor
Fe 10 1.7 ppb ICP-MS Vapor
Co 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
K 5 0.4 ppb ICP-MS Vapo
Mn 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Na 5 < 0.4 ppb ICP-MS Vapor
Mo 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Th 0.1 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Ti 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Li 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
U 0.05 < 0.05 ppb ICP-MS Vapor
Zn 10 < 0.2 ppb ICP-MS Vapor
Pb 10 < 0.1 ppb ICP-MS Vap
Mg 10 < 0.3 ppb ICP-MS Vapor
Ni 20 0.3 ppb ICP-MS Vapo
P 2 < 2 ppb ICP-MS Vapor
Cu 5 < 0.1 ppb ICP-MS Vapor
Total metal 300 < 10 ppb ICP-MS Vapor