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GASES

반도체 산업의 특수 가스 및
일반 산업용 가스 공급

Propylene Oxide Balance Blend - C₃H₆

Description

Flammable Liquid, N.O.S.; 3(Fammable); UN 1993

Applications

Semiconductor Gas

Characteristic Nominal Actual
Propylene C₃H₆ 99.99% ≥ 99.99%
Nitrogen N₂ < 5 ppmv 2.2 ppmv
Oxygen O2 < 1 ppmv 0.8 ppmv
Carbon Dioxide CO₂ < 1 ppmv < 0.5 ppmv
Moisture H₂O < 2 ppmv 1.6 ppmv
Other Hydrocarbons < 90 ppmv 33 ppmv